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重慶凱益特種氣體有限公司竣工環境保護驗收監測報告(中)

時間:

3.4-8          氮氣分裝工藝設備清單一覽表

序號

設備名稱

設備規格/型號

環評內容

建設情況

1

往復式低溫液體泵

型號:BPO200600/16.5

排壓:16.5Mpa

流量:200L/h,110r/min;

600L/h,325r/min

1

1

2

充裝排

型號:GC5

1

1

3

充裝夾具


3

3

9)一氧化二氮分裝主要工藝設備,見表3.4-9。

3.4-9         一氧化二氮分裝主要設備一覽表

序號

設備名稱

設備規格/型號

環評內容

建設情況

1

往復式低溫液體泵

型號:BPO200600/16.5

排壓:16.5Mpa

流量:200L/h,110r/min;

600L/h,325r/min

1

1

2

充裝排

型號:GC5

1

1

3

充裝夾具


5

5

(10)氨氣分裝主要工藝設備,見表3.4-10。

 

3.4-10           氨氣分裝主要設備一覽表

序號

設備名稱

設備規格/型號

環評內容

建設情況

1

往復式低溫液體泵

型號:BPO200600/16.5

排壓:16.5Mpa,流量:200L/h    ,110r/min;600L/h    ,325r/min

1

1

2

充裝排

型號:GC5

1

1

3

充裝夾具


5

5

11)二氧化碳分裝主要工藝設備,見表3.4-11。

3.4-11           二氧化碳分裝主要設備一覽表

序號

設備名稱

設備規格/型號

環評內容

建設情況

1

充裝排

型號:GC5

1

1

2

充裝夾具


5

5

3

真空泵

2X-30A

1

1

4

電子秤


1

1

12)混配氣體生產主要工藝設備,見表3.4-12。

3.4-12              混配氣體生產設備一覽表

序號

設備名稱

設備規格/型號

環評內容

建設情況

1

氣體配比器

MIX-M系列

2

2

2

充裝夾具


2

2

3

氮氣混配氣體配比器



增加1套備用

 

3.5生產工藝

3.5.1合成氣體(鍺烷)生產工藝流程及產污環節

3.5.1.1主要反應方程式

鍺烷生產過程中,主要化學反應如下:

GeO2+ 2NaOH + NaBH4+3H2SO4 = GeH4 + Na2SO4 + NaB(SO4)2+4H2O

主要的副反應如下:

2NaBH4+H2SO4+6H2O =Na2SO4+8H2+2H3BO3

3.5.1.2工藝流程簡述

1)生產準備

鍺烷合成設備安裝后,先采用高純氮氣對整個生產系統進行吹掃。鍺烷合成前,采用氦氣對整個系統進行**吹掃。整個吹掃時長約1h,吹掃廢氣(G1)中含有微量的鍺烷,送入鍺烷合成裝置配套的三級噴淋洗滌設施處理。

在吹掃設備的同時,進行原料準備。將固體氫氧化鈉在配堿槽內用純水配制成30%的堿液,將濃硫酸也配置成30%溶液加入高位槽內,以備合成使用。

2)合成工序

吹掃完畢后,開始先向反應器內加入定量的濃硫酸溶液,向其中加入二氧化鍺、氫氧化鈉和硼氫化鈉。主要物料開始發生反應,整個過程為放熱反應,生成的產物有鍺烷、硫酸鈉、硫酸硼鈉等。生成的鍺烷氣體從反應器頂部溢出進入后續純化工序,反應器內其余的固相和液相作為反應殘液(S1)收集至廢液槽。

3)純化工序

鍺烷合成氣先進入冷凝器,將合成氣中帶的水分冷凝收集至廢液槽內,冷凝器采用間壁式冷卻。經冷卻的合成氣再依次進入兩級純化柱(分子篩)去除雜質水分、氫氣等,得到高純鍺烷,純化后的氣體經低溫收集(冷媒為液氮),收集的鍺烷按規格裝入鍺烷專用鋼瓶內。

4)后續處理

鍺烷合成反應結束后,將反應器內的反應殘液由液相出口送至廢液槽。再次向整個生產系統內吹掃氦氣,將反應器中殘余的物質,以及純化柱內吸附的雜質吹掃**,吹掃廢氣(G1)送配套的三級噴淋洗滌設施處理。

與環評變化情況:生產工藝無變化。

鍺烷生產工藝流程及排污節點,見圖3.5-1(設計商業機密,圖略)。

3.5.2純化氣體生產工藝流程及產污環節

純化氣體生產是將外購的工業級氣體進行純化,生產電子級氣體產品。純化氣體包括有:10t/a六氟乙烷、10t/a三氟甲烷和10t/a六氟化硫三種,其純化工藝**相同,產排污節點也相同,工藝及產污介紹僅以六氟乙烷為例簡述。

外購工業級的六氟乙烷儲存于大鋼瓶內(鋼瓶500L、300kg),首先六氟乙烷自底部進入**級吸附柱(分子篩)內,將原料氣中絕大部分的H2O和少部分CO2等雜質氣體吸附,經初步凈化的六氟乙烷從吸附柱頂部溢出,再依次進入兩級串聯的吸附柱內,將CO2、N2、O2等雜質氣體**去除,被吸附凈化六氟乙烷****吸附柱頂部流出,進入緩沖罐穩壓經檢驗合格后,計量充裝入六氟乙烷專用鋼瓶。

六氟乙烷純化工藝流程與三廢排污節點,見圖3.5-2。


3.5-2  六氟乙烷純化工藝流程及排污節點圖

3.5.3分裝氣體生產工藝流程及產污環節

電子工業對特氣使用具有品種多、用量小的特點,因此,大瓶包裝的因為使用周期長、儲存久,不能滿足客戶實際需要。分裝氣體生產是將外購大瓶裝的電子級氣體分裝成小鋼瓶裝,以滿足客戶的需求。主要包括:1.6t/a氮氣、2.4t/a氬氣、30t/a三氯氫硅、0.2t/a氦氣、5.4t/a一氧化二氮、4.4t/a氨氣、2.2t/a二氧化碳。

3.5.3.1氮氣分裝

液氮原料通過低溫液體槽車運輸,存儲于廠區內低溫液氮儲罐。儲罐內的液氮經低溫液體泵加壓達到設計的標準壓力,然后經高壓氣化器將氣化后的氮氣通過充裝匯流注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力14.5MPa時,關閉瓶閥,卸下氮氣瓶,經檢驗合格后入庫。氮氣分裝工藝流程,見圖3.5-3。如果氮氣要求純度更高,需要在充裝鋼瓶前進行分子篩吸附進一步純化處理。


3.5-3   氮氣分裝工藝流程圖

3.5.3.2氬氣分裝

液氬原料通過低溫液體槽車運輸,存儲于廠區內低溫液氬儲罐內。儲罐內的液氬經低溫液體泵加壓達到設計的標準壓力,然后經高壓氣化器將氣化后的氬氣通過充裝匯流注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力14.5MPa時,關閉瓶閥,卸下氬氣瓶,經檢驗合格后入庫。氬氣分裝與氮氣分裝工藝流程一致。

3.5.3.3三氯氫硅分裝

外購液態三氯氫硅,通過專用集束鋼瓶掛車運輸至廠內后,將鋼瓶留置在分裝廠房外,采用惰性氣體氦氣加壓充入掛車鋼瓶,將液態三氯氫硅置換經充裝匯流排壓入專用鋼瓶內,當鋼瓶內三氯氫硅的重量達到規定的重量時,關閉瓶閥,卸下鋼瓶,經檢驗合格后入庫。三氯氫硅分裝工藝流程,見圖3.5-4。


3.5-4   三氯氫硅分裝工藝流程圖

3.5.3.4氦氣分裝

外購高純液氦,通過專用集束鋼瓶掛車運輸至廠內后,將鋼瓶車留置在分裝廠房外。集束鋼瓶掛車內的液體分別經低溫液體泵加壓、高壓氣化器將氣化后,將氣態氦通過充裝匯流排注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力14.5MPa時,關閉瓶閥,卸下氦氣瓶,經檢驗合格后入庫。氦氣分裝工藝流程,見圖3.5-5。

對鍺烷系統進行吹掃采用的氦氣需要進一步純化,以提高鍺烷產品質量,采用三級吸附柱純化,將99.999%提純至99.9999%以上。


3.5-5    氦氣分裝工藝流程圖

3.5.3.5一氧化二氮分裝

外購高純液態一氧化二氮,通過專用集束鋼瓶掛車運輸至廠內后,將鋼瓶車留置在分裝廠房外。集束鋼瓶掛車內的液體分別經低溫液體泵加壓、高壓氣化器將氣化后,將氣態一氧化二氮通過充裝匯流排注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力14.5MPa時,關閉瓶閥,卸下一氧化二氮氣瓶,經檢驗合格后入庫。一氧化二氮分裝工藝流程與氦氣分裝工藝流程一致。

3.5.3.6氨氣分裝

外購電子級液氨,通過專用集束鋼瓶掛車運輸至廠內后,將鋼瓶車留置在分裝廠房外。集束鋼瓶掛車內的液體分別經低溫液體泵加壓、高壓氣化器將氣化后,將氨氣通過充裝匯流排注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力14.5MPa時,關閉瓶閥,卸下氨氣鋼瓶,經檢驗合格后入庫。氨氣分裝工藝流程與氦氣分裝工藝流程一致。

3.5.3.7二氧化碳分裝

從重慶同輝氣體有限公司購買高純二氧化碳,通過專用鋼瓶運輸至廠內分裝廠房外。鋼瓶內的二氧化碳氣體通過充裝匯流排注入專用鋼瓶,當壓力達到鋼瓶的公稱工作壓力15MPa時,關閉瓶閥,卸下二氧化碳鋼瓶,經檢驗合格后入庫。二氧化碳分裝工藝流程與氦氣分裝工藝流程一致。

與環評變化情況:環評時建設20m3二氧化碳儲罐一個,實際未建設。重慶同輝氣體有限公司與本項目緊鄰,改為直接用專用鋼瓶運輸至廠內分裝。

3.5.4混配氣體生產工藝流程及產污環節

混配氣體是將兩種電子級的氣體進行充裝混合,整個過程為物理混合過程,不新增物質種類。項目建設一套混配氣體生產裝置,混配氣體生產規模為13.7t/a,具體組合及規格,見表3.5-1。

3.5-1              項目混配氣體規格及規模

序號

混配氣體組合

混配規格

生產規模(t/a

1

硅烷+氮氣

5%+95%

0.69

2

硅烷+氫氣

5%+95%

0.13

3

硅烷+氦氣

5%+95%

0.16

4

硅烷+氬氣

5%+95%

3.08

5

氫氣+氬氣

5%+95%

2.52

6

氦氣+氮氣

5%+95%

2.62

7

一氧化碳+氮氣

5%+95%

1.37

8

二氧化碳+氮氣

5%+95%

2.10

9

一氧化氮+氮氣

5%+95%

0.34

10

一氧化二氮+氮氣

5%+95%

0.69

合計



13.7

首先根據配方計算各種組分氣體的質量,并準備好原料氣體。將要使用的各種組分氣體鋼瓶、產品瓶接入配氣柜配氣系統,按電子混合氣配氣柜操作要求充裝各組分氣體。充裝完成后,取下產品瓶稱重、檢驗合格后出廠。

混配氣體的生產工藝、設備均相同,本次評價以二氧化碳+氮氣為代表介紹混配的工藝流程:液態氮氣首先經過高壓氣化器充裝注入混合氣專用鋼瓶內,當氮氣在混合氣中其分壓達到要求時,停止氮氣的充裝。再向混合氣鋼瓶內充裝二氧化碳氣,當混合氣鋼瓶內壓力達到規定值后,停止充裝,關閉瓶閥,成為混配氣體出廠。

混配氣體生產工藝流程,見圖3.5-6。


3.5-6   混配氣體工藝流程圖

混配氣體生產充裝過程均為密閉流程,排放的廢氣為氣體分裝作業時連接管道殘留的廢氣。這部分廢氣主要為氮氣、氬氣、氦氣等,均不含有害成份,通過車間通風設施無組織排放?;炫錃怏w生產過程中無生產廢水和固廢產生。

3.6水平衡

項目全廠水平衡見圖3.6-1。

圖片.png

圖片.png

3.7項目變動情況

本項目建設內容變動情況,見表3.7-1。

3.7-1     本項目建設內容變動情況一覽表

序號

環評及批復要求

實際建設內容

備注

1

2套混配裝置

實際增加1套備用混配裝置

增加1套備用氮氣混配裝置,規模不變。

2

廠區實行雨污分流。生活污水和其他廢水經20m3廢水收集池收集后送至東安鉀肥廠污水處理站處理達標后排放。

廠區實行雨污分流。生產廢水經1m3廢水收集池收集后送至重慶同輝氣體有限公司廢水收集池,再泵送至東安鉀肥廠污水處理站處理達標后排放。

1m3廢水收集池,通過液面感應裝置自動泵送至重慶同輝氣體有限公司。

3

鍺烷生產過程中產生的吹掃廢氣經三級雙氧水噴淋洗滌塔處理后經20m高排氣筒達標排放。

鍺烷生產過程中產生的吹掃廢氣經**堿液噴淋+兩級雙氧水噴淋洗滌塔處理后經21m高排氣筒達標排放。

將**雙氧水改為堿液吸收的優化處理措施經20171115日環?!叭瑫r”落實情況現場檢查組認為符合要求。

4

純化柱脫附過程產生的脫附廢氣經堿液噴淋洗滌塔處理后經20m高排氣筒達標排放。

純化柱脫附過程產生的脫附廢氣、車間廢氣、實驗室廢氣等經兩級堿液噴淋+**雙氧水噴淋洗滌塔處理后經21m高排氣筒達標排放。

將車間抽風廢氣和實驗室廢氣以及分裝置換氣體**改為有組織排放。此方案經20171115日環?!叭瑫r”落實情況現場檢查組認為符合要求。

5

有毒氣體充裝置換殘余氣體經**高錳酸鉀噴淋洗滌塔吸收。

有毒氣體充裝置換殘余氣體收集進入屋頂三級吸收塔吸收處理。

實際建設時采用屋頂三級噴淋(**雙氧水+兩級堿液)吸收,優化了處理措施。

4 環境保護設施

4.1污染物治理/處置設施

4.1.1廢水

項目生產過程不產生工藝廢水,污廢水主要包括:化驗室廢水、鋼瓶清洗廢水、地面沖洗廢水、生活污水、純水系統排水等。

項目純水系統排水量2m3/a,其水量較少,收集后作為消防水池的補充用水,不外排。

化驗室廢水150m3/a、鋼瓶清洗廢水(8m3/a)、地面沖洗廢水(13.87m3/a)、生活污水1800m3/a),廢水水質簡單污染物濃度低,主要污染因子為COD、BOD5、SS、氨氮等,上述廢水先收集至廠區20 m3廢水收集池內,再輸送至東安鉀肥廠污水處理站處理達標后排放。

實際建設情況:20m3廢水收集池改為1m3廢水收集池,通過液面感應自動泵輸送至重慶同輝氣體有限公司廢水收集池,再輸送至東安鉀肥廠污水處理站處理達標后排放。

廢水收集池照片,見圖4.1-1。

圖片.png

4.1-1 廢水收集池及泵送裝置

4.1.2廢氣

4.1.2.1廢氣產生情況

1)鍺烷吹掃廢氣(G1

G1:廢氣量約500m3/h,年排放時長120h,主要污染物為鍺烷,產生量為0.167kg/h20kg/a),濃度為333.3mg/m3,經三級雙氧水噴淋洗滌塔洗滌后通過20m高排氣筒達標排放。

實際變化情況:將**雙氧水改為堿液吸收,該優化處理措施經20171115日環?!叭瑫r”落實情況現場檢查組認為符合要求。

2)脫附廢氣(G2

G2:廢氣量500m3/h,年排放時長2h,主要污染物為酸性廢氣(以HCl計),產生量0.0147kg/h0.0294kg/a),濃度29.4mg/m3,經堿液噴淋洗滌后通過20m高排氣筒達標排放。

實際變化情況:對生產車間進行抽風,將車間無組織廢氣收集,引入脫附廢氣處理措施,并優化處理工藝,經**堿液噴淋改為兩級堿液噴淋+**雙氧水噴淋,然后通過21m高排氣筒達標排放。此方案經20171115日環?!叭瑫r”落實情況現場檢查組認為符合要求。

3)無組織廢氣

分裝過程中無組織排放的氨約27.57kg/a,三氯氫硅新鋼瓶清洗過程中無組織排放丙酮約9.43kg/a。

廢氣產生與排放情況,見表4.1-1。


4.1-1本項目廢氣產生及排放情況匯總表

編號

污染源

產生量

(m3/h)

污染因子

產生情況

治理措施

排放情況

煙囪

排放

時長

h

去向

實際建設措施

濃度 (mg/m3)

產生量(kg/h)

濃度

(mg/m3)

排放量(kg/h)

溫度

高度m

直徑mm

G1

鍺烷吹掃廢氣

500

GeH4

333.3

0.167

三級雙氧水噴淋洗滌塔

33.3

0.0167

25

20

100

120

大氣

**堿液噴淋+兩級雙氧水噴淋洗滌塔,排氣筒高度21m

G2

脫附廢氣

500

酸性廢氣

(HCl)

29.4

0.0147

**堿液噴淋洗滌

5.9

0.003

25

20

100

2

大氣

兩級堿液+**雙氧水噴淋洗滌,排氣筒高度21m

4.1.2.2廢氣治理設施

1)堿液+雙氧水三級噴淋洗滌處理設施

鍺烷生產過程中產生的吹掃廢氣主要污染物為鍺烷,采用**堿液+雙氧水三級噴淋洗滌設施處理后,通過20m高排氣筒達標排放。

三級噴淋洗滌設施主要由三個洗滌塔組成,尾氣從塔底進入洗滌塔,與從塔頂進入的氫氧化鈉溶液在洗滌塔內逆流接觸,氣、液兩相發生傳質,主要作用為吸收鍺烷生產過程中可能產生的硫酸霧,再依次進入兩級雙氧水洗滌塔,由于雙氧水具有強氧化性,尾氣中的GeH4迅速和雙氧水接觸發生反應,具體反應方程式為:GeH4+4H2O2=GeO2+6H2O。

經三級噴淋洗滌處理后總去除效率可達到90%以上,可以確保GeH4排放低于根據《制定地方大氣污染物排放標準的技術方法》(GB/T13201-91)中公式計算確定的排放速率要求。

雙氧水三級噴淋洗滌設施的具體工藝流程,見圖4.1-1。

圖片.png

4.1-1三級噴淋洗滌設施工藝流程圖

2)堿液噴淋洗滌處理設施

脫附廢氣的處理

純化氣體生產過程中使用的吸附柱每間隔**時間需要進行脫附處理,產生脫附廢氣,其主要污染物為酸性廢氣,采用兩級堿液+**雙氧水噴淋洗滌塔處理后,通過21m高排氣筒達標排放。

脫附廢氣采用堿液噴淋洗滌處理,酸性廢氣從塔底進入洗滌塔,與從塔頂進入的堿液在洗滌塔內逆流接觸,氣、液兩相發生傳質,尾氣中的酸性氣體和堿液接觸后迅速發生中和反應,將有害的酸性氣體迅速去除。由于脫附廢氣中酸性氣體含量很低,采用堿液噴淋洗滌對其處理是最成熟、也是最經濟的措施,其對酸性氣體的去除效率可達到80%以上,可以確保酸性氣體(以HCl計)達標排放。

舊鋼瓶置換廢氣的處理

使用的鋼瓶均為專瓶專用,舊鋼瓶從用戶處返回廠內后先采用紅外光譜對鋼瓶內殘余氣體進行檢測,如果檢測合格,則直接用于專用氣體的充裝。如果經檢測鋼瓶內殘余氣體不能達到質量標準要求,則定期、分類采用氮氣對不達標鋼瓶內殘余氣體進行吹掃。對于充裝酸性氣體鋼瓶內殘余氣體置換的廢氣也送堿液噴淋洗滌設施處理;鋼瓶置換廢氣中的有毒成分經雙氧水氧化,減少對環境的污染。

車間抽風

車間抽風廢氣進入處理裝置21m高空排放。

堿液噴淋處理具體工藝流程,見圖4.1-2。

圖片.png

4.1-2堿液噴淋洗滌設施工藝流程圖

廢氣處理裝置及排氣筒照片,見圖4.1-2。

圖片.png

4.1-2  廢氣處理裝置及排氣筒

4.1.3噪聲

本項目的噪聲源主要為各種泵類、風機、膜壓機等其噪聲值在7590dB(A)之間,通過建筑隔聲、隔音罩、減震等措施使各噪聲源經降噪處理。本項目噪聲設備及排放源強,見表4.1-1。

4.1-1       噪聲排放特征及治理措施一覽表

裝置

名稱

噪聲源

數量

()

工作情況

治理前聲壓級dB

治理措施

特氣生產廠房

各類泵

27

連續

75~85

減振、隔聲等

膜壓機

8

連續

75~85

減振、隔聲等

風機

3

連續

80~85

減振、隔聲、消聲等

4.1.4固廢

本項目固體廢物主要包括鍺烷反應器內反應產生的反應殘液、鍺烷吸附凈化產生的廢吸附劑、鍺烷吹掃廢氣處理過程中產生的氧化鍺廢渣以及職工生活垃圾。具體固廢產生情況統計,見表4.1-2。

4.1-2        固體廢物產生情況統計表

編號

污染源

主要成分

產生量t/a

屬性

處置方式

處理量t/a

產生頻次

S1

反應殘液

硫酸鈉、硫酸硼鈉、硫酸等

5.125

危險廢物

交有資質單位處置

5.125

間斷

S2、S3

廢吸附劑

廢分子篩

0.4

0.4

S4

二氧化鍺廢渣

二氧化鍺等

0.026

0.026

S5

生活垃圾

/

18

/

交環衛部門處置

18

圖片.png圖片.png

4.1-3 危廢暫存間和一般固廢暫存間

4.2其他環保設施

環評要求其他環保措施匯總,見表4.2-1。

4.2-1本項目其它環保措施匯總表

序號

風險防范部位

環評要求

建設情況

落實情況

1

生產裝置區


1.1

特氣生產廠房

設置可燃氣體檢測報警儀

具體安裝位置見表4.2-2。

已落實

設置有毒氣體檢測報警儀

設置視頻監控裝置

已設置視頻監控裝置

已落實

1#事故應急池(盛裝清水)

2#事故應急池(盛裝堿液)

建設2個事故應急池(盛裝清水)和1個事故應急池(盛裝堿液)

已落實

鍺烷合成、純化置于密閉隔間內,隔間設抽風設施

鍺烷合成、純化置于密閉隔間內,隔間設抽風設施

已落實

涉及酸性、腐蝕性、氧化性氣體的區域設置抽風設施,抽風氣體送堿液噴淋洗滌設施處理。

已落實

已落實

2

倉儲區


2.1

原料倉庫

設置視頻監控裝置

已設置視頻監控裝置

已落實

2.2

成品倉庫

設置視頻監控裝置

已設置視頻監控裝置

已落實

2.3

氣體儲罐區

設置視頻監控裝置

已設置視頻監控裝置

已落實

3

其它


3.1

事故池

建設400m3事故池

已落實,在廠區北側建設400m3事故池,在事故池西北設置切換閥,事故水泵至事故池,泵一用一備,并設置雙電源。

已落實

3.2

風向標/旗幟

設置在高建構筑物頂、醒目位置處

全廠車間及庫房屋頂共設5個風向標

已落實

3.2

危險化學品標識等

在庫房門外標注

庫房門外標注了庫房內所存儲的化學品名稱及危險標識

已落實

3.3

應急材料等

在生產車間內、外存放

防護、堵漏材料等在車間內、外均有設置

已落實

3.4

防護設施:防毒衣服、面具、洗眼器等

在生產車間存放

車間內、外備有防毒衣服、面具、洗眼器等

已落實

3.5

制定事故應急預案、日常演練

制定事故應急預案、日常演練

企業已經編制完成突發環境事件應急預案和風險評估報告并備案

已落實



 

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