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鍺烷GeH4

時間:

 鍺烷是一種無色、有毒的易燃氣體,帶有刺激性氣味。其可在空氣中自發燃燒。它可與氫、氬、氦、氮相互兼容,經常與這些氣體混合運送。鍺烷被用于外延硅和非晶硅、鍺、合金的沉積,且作為(Si, Ge)02薄膜等離子體增強化學汽相沉積的一種成分,為光電子的應用提供了可控的折射率。通常以游離氣體而非自身壓力下的液化氣體進行運送。

容器信息

氣瓶尺寸

容量

 

21.1°C溫度下的壓力:            a130、b118或c104磅/平方英尺
閥門出口:                      CGA-350/DISS-632
裝運描述:                      鍺烷,2.3, UN2192,吸入中毒危害,危險區B
裝運標簽:                      有毒氣體,易燃氣體
引導編號:                      18
CAS注冊號:                     1590-87-0

 

A030a
A016b
A07c

1000
500
200

 

規格

鍺烷成分

電子等級 
純度最少99.999% (不包括乙鍺烷和氫氣)

二氧化碳

< 2 ppm

一氧化碳

< 1 ppm

氫氣

< 50 ppm

氮氣

< 2 ppm

氧氣 + 氬氣

< 0.5 ppm

總碳氫化合物 (如,甲烷)

< 1 ppm

三鍺烷

< 1 ppm

保存期限: 1 年

 

物理性質

分子量

76.64

空氣中的可燃度極限

自燃的

氣體在1個標準大氣壓(空氣=1)和70cF(21.1°C)溫度下的比重

2.65

氣體在1個標準大氣壓和70cF(21.1°C)溫度下的密度

0.198lbs/ft3 (3.17g/l)

氣體在1個標準大氣壓和70cF(21.1°C)溫度下的比容

5.05ft3/lb (0.315l/g)

在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)氣壓的熔點

-266.6℉ (-165.9°C)

在1個標準大氣壓的沸點

-127℉ (-88.4°C)

臨界溫度

94.7℉ (34.8°C)

臨界壓力

805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar)

毒性


時間加權平均閾限值>

0.2 ppm

半數致死濃度

50 ppm


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